shenlight 发表于 2006-12-19 10:59

求助薄膜应力加载

要在一个直径位400mm，厚度为40mm的基片上镀膜。镀膜过程中采用四周边缘下部固定的水平装夹方式。镀膜过程中先考虑自重变形，温度梯度变形（上下表面温差1度），然后镀膜1微米，薄膜中应力为400Mpa。在取出真空室中片子后，竖直放置，自重变形和温度梯度消失,计算最终的变形。怎么计算好呀,薄膜应力该怎么施加.薄膜应力方向指向圆心。我接触ansys时间不长，请高手指点。
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