1、Shenyang Academy of Instrumentation Science / 沈阳仪表科学研究院
1995年经中国经济计划委员会批准,传感器国家工程研究中心设在沈阳仪表科学研究院,该中心是中国唯一从事传感器技术工程化科研和生产试验的机构。专业开展MEMS技术、硅微芯片及力/热/磁传感器、传感器等基础工艺技术、传感器工程化技术研究。拥有多条可柔性组合的硅基力敏、微机电传感器(MEMS)、变送器及相关仪表的专业生产线,配备传感器CAD设计中心和传感器可靠性和检测试验中心、专用工艺装备和仪器200多台及配套的标准的生产现场和实验室的基础设施。掌握和具备从传感器敏感芯片到传感器及相关仪表、整机产品的设计、加工、封装、测试及快速研发和批量生产的自主核心技术和能力。主要的传感器产品:力/热/磁传感器,变送器等。
2、 Research Institute of Tsinghua University in Shenzhen / 深圳清华大学研究院
1996年12月,深圳市政府和清华大学本着优势互补,强强联合的原则,共同创建了深圳清华大学研究院,探索产学研结合的新模式。市校合建研究院,开创了中国之先河。深圳力合高科技有限公司(简称清华力合)是清华大学研究院组建的高新技术企业。公司成功地将自主知识产权的国家“八五”、“九五”重点科研项目——石英谐振式力敏传感器实现产业化,被国家计委列为高新技术产业化示范基地。要的传感器产品:压力传感器,应变传感器,石英晶体传感器等。